在嗮國內7家光刻膠企業成績單前先看一則阿斯邁爾光刻機動態：

ASML 準備交付第一臺高 NA 極紫外光刻機

ASML 計劃在今年內交付第一臺 數值孔徑（NA）的極紫外（EUV）光刻機。這臺光刻機主要用于開發目的，幫助客戶熟悉新技術和功能。高 NA 極紫外光刻機商業使用預計要到 2025 年之后。數值孔徑（NA）用以衡量光學系統能夠收集的光的角度范圍，它描述了物鏡收光錐角的大小，而后者決定了顯微鏡收光能力和空間分辨率。 NA 對應的光刻分辨率 8nm。ASML 沒有披露首位高 NA 極紫外光刻機的客戶名字，但推測就是英特爾。英特爾此前透露它的 18A 工藝節點將使用高 NA 光刻機，由于時間表提前而采用其它方案，但它可能會在 18A 工藝節點的后期使用高 NA EUV 光刻機。這些光刻機價格不菲，預計超過 3 億美元，將進一步加大先進晶圓廠的制造成本。

(資料圖片)

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7家光刻膠企業上半年成績單：多家企業光刻膠新品進入驗證階段

在半導體領域，2019-2022年中國大陸半導體光刻膠市場規模保持良好的增長態勢。2022年消費領域的芯片受到供應鏈危機緩解及庫存消化的影響，產能利用率下降。反觀8寸及12寸硅晶圓因汽車、工業、物聯網以及5G建設的驅動而呈現需求上升的局面。根據勢銀（TrendBank）調研統計分析，2023年中國大陸半導體光刻膠市場規模預計達到億元，同比增長%，增速將有所放緩。

圖：2019-2023年中國大陸半導體用光刻膠市場規模（億元）

來源：勢銀《光刻膠及原料產業最近進展與趨勢》報告

在顯示領域，2022年中國大陸面板市場低迷。受此影響，2022年顯示用光刻膠市場規模有所下滑，整體市場情況將在2023年獲得改善。根據勢銀（TrendBank）統計預測分析，2023年中國大陸顯示用光刻膠市場規模達到億元，同比增長%。

圖：2019-2023年中國大陸顯示用光刻膠市場規模（億元）

來源：勢銀《光刻膠及原料產業最近進展與趨勢》報告

目前，國內光刻膠企業正加快光刻膠產品的研發驗證導入步伐。截止8月底，7家涉及光刻膠板塊的上市企業都已發布半年報，業績情況如下——

整理上述7家企業半年報信息，一文了解各廠商具體進展。

受半導體市場下降影響，2023年上半年半導體光刻膠實現銷售收入8258萬元，得益于膠成熟產品的持續放量以及新產品的增加，KrF光刻膠依然保持著較快的增速達到%。I線光刻膠方面，ICA光刻膠開始放量，增長率達到%。

2023年上半年，北旭電子實現銷售收入億元，同比下降%；面板光刻膠產品銷量同比增長%，國內市占率約為%。報告期內，公司的一款4-Mask高感度光刻膠新品出貨持續增加中。針對AMOLED面板客戶開發的高性能的高分辨率光刻膠分辨率達到μm、μm，已在客戶完成階段性批量驗證。同時，有機膜產品、高耐熱光刻膠、低溫光刻膠也在研發和客戶測試中。

在樹脂產品上，上半年液晶面板Array half-tone光刻膠酚醛樹脂量產成功；高分辨率光刻膠酚醛樹脂進入量產產品已經在液晶面板產線測試；OLED光刻膠酚醛樹脂進入開發階段；多個G/I線酚醛樹脂處于中試/大試階段；先進I線光刻膠酚醛樹脂、lift off負膠酚醛樹脂研發取得階段性進展。

在項目建設上，報告期內年產萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關配套試劑項目也已經部分建設完成。

報告期內，瑞紅蘇州實現營業收入11,萬元，同比減少%；實現歸屬于掛牌公司股東的凈利潤1,萬元，同比減少%。

瑞紅蘇州表示，凈利潤同比下滑較多的主要原因為：全球集成電路行業進入下行周期，下游終端如智能手機、電腦等消費電子需求疲軟，供應鏈持續調整庫存。

據悉，瑞紅蘇州在今年2月16日正式登陸新三板。公司的i線光刻膠產品規模化向中芯國際、合肥長鑫、華虹半導體、晶合集成等國內知名半導體企業供貨；KrF高端光刻膠部分品種已量產；ArF高端光刻膠研發工作正進行中。截止報告期末公司擁有30項國內專利，其中發明專利19項。

今年4月，徐州博康（華懋科技、華為哈勃控股）對外公布超6億元融資順利完成交割。新資金的注入將助力徐州博康加快推進在光刻膠全產業鏈自主創新技術的持續研發和產能布局，也為進一步打造徐州博康平臺型精細化工企業提供了資金保障。

目前，公司有多款高端光刻膠產品分別獲得了國內12寸晶圓廠的相關訂單，包括ArF-immersion產品及ArF-dry，KrF，I-line等。其中，ArF-immersion產品已經適用于45nm-28nm制程。具體分品類來看——

（1）ArF光刻膠有26款產品，9款ArF-immersion及ArF-dry光刻膠正在客戶端進行產品驗證導入量產，品種類涵蓋55nm、40nm、28nm及以下的關鍵層工藝。

（2）KrF光刻膠有30款產品，20余款KrF光刻膠正在客戶端進行產品驗證導入量產。

（3）I線光刻膠有15款產品，10多款I線光刻膠正在客戶端進行產品驗證導入量產。

（4）電子束光刻膠有3大種類，為PMMA、PHS和HSQ體系，已為數十家企業和高校提供標準化、定制化的電子束光刻膠產品。

報告期內，上海新陽實現營業收入 億元，較去年同期略有增長；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤為8,681萬元，同比增長776%。公司半導體行業實現營業收入 億元，同比增長 %，集成電路制造用關鍵工藝材料系列產品收入穩定增長。

報告期內，光刻膠系列產品已實現營業收入超百萬元。其中，光刻膠項目研發進展比較順利，I線、KrF光刻膠產品已在超20家客戶端提供樣品進行測試驗證。ArF浸沒式光刻膠的研發進展也比較順利，已在國內多家晶圓制造企業開展測試驗證工作。同時，原料樹脂的合成方案探索、工藝優化、穩定性等方面都取得突破。

今年2月，上海新陽發布公告表示，擬億投建光刻膠等集成電路關鍵工藝材料項目，預計年產500噸I線、KrF、ArF 干/濕法光刻膠等產品。項目擬于2023年取得施工許可證，2025年底前竣工，2026年6月底前投產。

南大光電今年一季度扭轉了去年第四季度業績下跌的趨勢；二季度營業收入、凈利潤均實現環比增長。今年上半年整體實現歸屬于上市公司股東的凈利潤15, 萬元，較上年同增長%。

南大光電表示，公司在光刻膠技術研發方面始終堅持完全自主化路線。控股子公司寧波南大光電的光刻膠研發中心具備了研制功能單體、功能樹脂、光敏劑等光刻膠材料的能力，能夠實現從光刻膠原材料到光刻膠產品及配套材料的全部自主化。

來源：南大光電

目前研發的產品已在下游客戶存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術節點上通過認證，多款產品正在主要客戶處認證，持續推動光刻膠及配套材料產品的研發和產業化。

2023年上半年，雅克科技實現營業收入232,萬元，與上年同期相比增長%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤為34,萬元，同比增長%。

報告期內，雅克科技光刻膠業務發展勢頭強勁，客戶涵蓋包括京東方、華星光電、惠科等國內主要面板制造商，產品銷量和市場占有率不斷得到提升。公司自主研發的OLED用低溫RGB光刻膠、CMOS傳感器用RGB光刻膠、先進封裝RDL層用l-Line光刻膠等產品正按計劃在客戶端測試，進程順利。

另據雅克科技5月在投資者互動平臺的回復顯示：公司的半導體制程光刻膠研發工作按計劃推進中。此外，新一代電子信息材料國產化項目-光刻膠及光刻膠配套試劑項目預計將于2023年9月達到可使用狀態。

2023年上半年，飛凱材料受國內經濟內生動能不足、市場需求疲弱、電子消費降級等影響，實現營業收入131,萬元，較去年同期比較下降%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤17,萬元，較去年同期減少%。

報告期內，公司進一步拓展了底部抗反射層產品（BARC）的市場，且向市場推出了新一代光引發劑產品（TMO）。

在光刻膠產品方面，公司I-line光刻膠和248nm光刻膠抗反射層材料已實現部分客戶量產，將進一步提升公司半導體光刻膠的競爭力。同時，公司前期建設項目5000t/aTFT-LCD光刻膠項目和5500t/a合成新材料項目已向客戶穩定供貨。

另據近期采訪顯示，飛凱材料透露未來將會把重點放在光刻膠抗反射層及下層材料方向上。